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    FP-260型
 
    产品特点
 
     
 

● 半导体工业净化间的理想检测仪器
● 理想的低浓度气体检测仪(PPb级)
● 抗干扰性强
● 使用插入式盒纸带,更换方便
● 盒式纸带剩余量显示

 
     
 
    产品规格
    气体范围表
   
 类  型
台式,可移动
 检测原理
使用盒式纸带的光电光度法原理
 检测纸带
盒式纸带、VHS型快速更换型纸带
 电源/能耗
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz(检测状态耗能为35VA,纸带卷动时耗能60VA)
 尺寸/重量
85(W)×190(H)×40(D)mm,500g
检测气体
TLV值
检测范围
分辨率
磷烷(PH3)
300ppb
0-900ppb
5
硅烷(SiH4)
5ppm
0-15ppm
0.25
乙硼烷(B2H6)
100ppb
0-300ppb
5
砷烷(AsH3)
50ppb
0-150ppb
1
乙硅烷(Si2H6)
5ppm
0-10ppm
0.1
硫化氢(H2S)
10ppm
0-100ppb
1
碌气(CL2)
0.5ppm
0-100ppb
1
硒化氢(H2Se)
50ppb
0-300ppb
2
 
    FP-300型
 
    产品规格
 
 检测原理
光电光度测量法
 检测纸带
插入式盒式纸带
 检测气体范围
NH3
  0.5-4ppm
CL2
  0-0.8pm(*)
  0-1.5ppm
AsH3
  0-150ppb
B2H6
  0-300ppb
HCI
  0.25-1ppm
  1.5-8ppm
HF
  0-9ppm
H2S
  0-10ppm
  00-100ppm
PH3
  0-500ppb(*)
  0-900ppb
SiH4
  0-8ppm
  0-15ppm
 精  度
显示值的±20%+1 以内
 检测带使用时间
1个月(无报警)
 报 警 点
第1和第2报警
 自我诊断功能
传感器故障,流量低,检测带故障
检测带耗尽警告,检测带安装错误
 外部输出
4-20mA(****回路电阻为300Ω)
 电  源
AC110,110,117,220V 或 DC24V,
订购时需指其中一种
 工作温度/湿度
5-35℃,30~+90% RH (无凝结)
 尺寸·重量
164(W)×198(H)×263(D)mm,台式 6.5kg
164(W)×164(H)×261(D)mm,盘装式5.5kg
 
    产品特点
 
     
 

● 微处理器控制
● 内置采样泵
● 带背景的LCD显示
● 结构紧凑,重量轻
● 声光报警
● 即时显示峰值和平均值
● 记录器输出信号(0-1V线形)

 
     
 
    SC-90型
 
    产品规格
 
 检测原理
电化学原理
 检测气体/范围
见检测气体表
 浓度显示
连续测量值,平均值和峰值显示
 控制功能
微处理器控制
 显  示
点阵LCD显示,带自动照明
 精  度
±10% 以内
 反应时间
30秒以内(当通入3倍报警点浓度的气体时)
 采样方式
内置隔膜泵,吸入式采样
 使用温度/湿度
-10℃~+40℃,小于90% RH
 连续使用时间
碱性电池(标准) 约20小时
Ni-Cd充电电池(选购) 约10小时
 尺寸·重量
约 200(W)×80(H)×142(D)mm,1.9kg
 
    检测气体
    产品特点
   
检测气体
检测范围
报警设定值
磷烷(PH3)
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm)
0.3ppm
砷烷(AsH3)
0-1.00ppm(1 刻度0.05ppm)
0.3ppm
硅烷(SiH4)
0-15.00ppm(1 刻度0.05ppm)
5ppm
乙硼烷(B2H6)
0-30.0ppm(1 刻度0.05ppm)
10ppm
碌化氢(HCL)
0-5.00ppm(1 刻度0.05ppm)
2ppm
氟化氢(HF)
0-9.00ppm(1 刻度0.05ppm)
3ppm
     
 

● 内置微处理器控制
● LCD数字显示
● 自我诊断功能
● 泵吸式采样系统
● 轻便型检测仪
● 峰值保持和平增值显示
● 声 / 光报警
● 数据记录输出

 
     
 
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