深圳亚威华公司 销售部电话：0755-25887166，25887236　传真：25887232
 
 
　适用于半导体工业
 
 
　特点
 

● 台式可搬运型
● 带外部报警接点(NO接点)和记录输出(4-20mA或1-5V DC)
● 几乎不受有机溶剂气体影响
● 气体通道采用耐腐蚀结构
● 2级报警方式(第一，第二段报警)
 
　规格
 
检测原理
定电位电解方式
检测气体和范围
空气中的毒气，见下表
指示精度
±10%F.S以内
报警设定值
视不同气体而定
使用温度范围
0℃～+40℃
电源
AC220V±10%
尺寸·重量
200(W)×200(H)×320(D)mm 约6.9Kg
 
　检测气体名称
 
气体名称
EC-565S型(ppm)
EC-565SS型(ppm)
EC-565ST型(ppm)
胂 AsH3
0-1
0-0.2
--
四氯化碳 CCl4
--
--
0-30
氯气 Cl2
0-3
--
--
氯仿 CHCl3
--
--
0-30
乙硼烷 B2H6
--
0-0.3
--
氟 F2
--
0-5
--
锗烷 GeH4
--
0-2
--
氯化氢 HCl
0-5/15
--
--
氰化氰 HCN
--
0-30
--
氟化氰 HF
0-9
--
--
硒化氢 SeH2
--
0-0.2
--
臭氧 O3
0-5
0-1
--
磷 PH3
0-1
0-0.2
--
四氢化硅 SiH4
0-15
--
--
二氧化硫 SO2
0-15
--
--
三氯乙烯 CHCLCCL2
--
--
0-50
 
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